钨-钛靶材作为光伏电池镀膜材料是近发展起来的,它作为第三代太阳能电池的阻挡层是---择。
由于 w-ti 系列薄膜具有非常优良的性能,近几年来应用量急剧增加,2008年w-ti 靶材用量已达到400t,随着光伏产业的发展,这种靶材的需求量会越来越大。具行业预测其用量还会有很大的增加。国际太阳能电池市场以的速度增长,目---界有30 多公司参与太阳能市场的进一步开发,酸雾吸收塔厂, 并已有的公司产品投入市场。
各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路(vlsi)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代以来,酸雾吸收塔,溅射靶材及溅射技术的同步发展,酸雾吸收塔价格,---地满足了各种新型电子元器件发展的需求。例如,在半导体集成电路制造过程中,以电阻率较低的铜导体薄膜代替铝膜布线。
在被溅射的靶极阴极与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体通常为ar气,磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。
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